生產設備
奈米鑽石拋光設備介紹
Precision Nano-Scale Lapping & Polishing Machine
CVD-鑽石膜提供電子元件之應用,最終成品為奈米鏡面拋光,然多數公司均無法量產而止步不前,更遑論拋光CVD-鑽石膜。
本公司由於設備自製,在開發成功過程中,大量生產所得的CVD-D晶片,即時提供拋光製程之所需。
4英吋大面積薄基板之CVD-D,鑽石晶片奈米拋光研磨設備【鋒碩 1 號】得之不易(無人提供),故目前世界上拋光成果,多數應用高造價之精密設備,加工厚基材或小面積之CVD-D,由於本公司自產自用,從拋光品質開發過程中,同步開發拋光設備,及其相關工、治具,六年前已同步開發完成,並於六年來每天進行良率加工運作,現階段已達90%之良率。
目前世界上商用拋光設備,其價格約在新台幣500萬至2000萬不等,而本公司擁有鑽石工具研削應用專精技術成員,自行開發低造價、高性能之奈米級拋光設備
同樣本公司將從工、治具結構及製程方法,申請各項專利與認證。
2.自行開發之工、治具及加工方法,其技術能力世界第一,本公司將創造成為CVD-D拋光「質與量」上居世界龍頭地位。
3.拋光成果為4英吋薄基板CVD-D,一片加工時數3Hr,奈米級鏡面拋光面粗度達Ra 1.052nm Rq 1.321nm。
4.本公司鏡面拋光之CVD-D,其拋光加工成本,將因低造價成本設備,及特有短時數加工技術方法,而降低附加費用為一般CVD-D拋光成本的1/20。此為營運時可大量提供,低加工費用奈米鏡面拋光CVD-D之重要關鍵技術。
5.同樣本公司將從工、治具結構及製程方法,申請各項專利與認證。